Hochstabiles Laserinterferometer für Forschung und Industrie

Das Laserinterferometer der Serie SP-DI zeichnet sich durch eine einzigartige thermische Stabilität aus und kann sowohl für die Langzeitmessung in Forschung und Entwicklung, z.B. bei Materialuntersuchungen, als auch als Feedback-Sensor für Positioniersysteme in industriellen Umgebungen eingesetzt werden.

Durch einen herausgeführten Referenzstrahl wird der Hauptnachteil der Laserinterferometer mit nur einem Strahl, wie es bei Fabry-Perot Interferometern der Fall ist, eliminiert. Das Messsystem kann in größerem Abstand zum Messort platziert werden, ohne dass die Auflösung und die Stabilität der Messung signifikant beeinflusst wird. Die Längenauflösung des Interferometers liegt unter 20 pm und ist durch das Differenzprinzip des Messsystems bei gleichen Strahllängen auch unter normalen Laborbedingungen erreichbar. Der Messbereich für die Längenmessung liegt bei mehreren Metern, wenn kippinvariante Reflektoren für die Messungen verwendet werden.

Das System ist modular aufgebaut und kann dadurch an die Messaufgabe angepasst werden. Die Justage ist einfach und langzeitstabil realisierbar. Der Aufbau von Mehrachssystemen auf der Basis des neuen SP-DI Interferometers ermöglicht auch Mehrkoordinatenmessungen.



Über die SIOS Meßtechnik GmbH

Die SIOS Meßtechnik GmbH wurde 1991 gegründet und stellt laserinterferometrische Präzisionsmesssysteme für die Nanometrologie her. Die Messung von Längen, Winkeln, Schwingungen und weiteren Größen erfolgt mit höchster Auflösung und Präzision in Verbindung mit vorteilhaften Anwendereigenschaften. Die flexible Struktur der Firma ermöglicht es, die zu fertigenden Geräte individuell auf spezielle Kundenwünsche und Einsatzbedingungen anzupassen.

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