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Dreistrahlinterferometer SP 5000 TR – Das Beste aus zwei Welten

Dreistrahlinterferometer eröffnen durch die Mehrstrahligkeit eine sehr breite Palette von Anwendungen. SIOS entwickelt Interferometer sowohl für den Wissenschaftsmarkt als auch für den industriellen Markt. In der Wissenschaft steht die Performance hinsichtlich Auflösung und Stabilität an erster Stelle. In der Industrie gilt es Systeme zu entwickeln, die robust und komfortabel zu nutzen sind.

Das Dreistrahl-Interferometer SP 5000 TR vereint beides in einem Gerät. Einerseits kann man das SP 5000 TR mit dem bewährten Ausrichtgelenk und der im Sensorkopf integrierten Ausrichtelektronik zur Strahllageerkennung aus dem industriellen Umfeld bekommen. Andererseits ist eine Variante ohne diese Komponenten und stattdessen mit den hochstabilen optischen Keilplatten aus dem Wissenschaftsmarkt erhältlich.

Die Größe und die Form des SP 5000 TR entsprechen den industriellen Interferometern von SIOS. Der geschlossene Strahlaustritt unterstreicht dies.

Die Synchronität der drei Messkanäle ist besser als 0,2 ns. Dadurch kann mit dem Dreistrahlinterferometer nicht nur statisch, sondern auch dynamisch Position, Nicken und Gieren erfasst werden. Das neue Design erlaubt Objektgeschwindigkeiten von bis zu 3 m/s, d. h. eine Steigerung gegenüber dem Vorgänger um den Faktor 3,75! Der Messbereich wurde ebenfalls von 2 m auf 5 m verbessert.

Was sind typische Applikationen für das SP 5000 TR?

Mit einem Dreistrahl-Interferometer kann man nicht nur die Position bzw. Länge messen, sondern auch das dazugehörige Nicken und Gieren.

Eine typische Anwendung ist das hochgenaue Messen von Längen oder Positionen bei nicht Abbefehler-freien Messaufbauten. Ist das Interferometer nicht fluchtend zum Maßstab ausgerichtet, so wird die Länge mit einem seitlichen Offset erfasst. Dies ist ein Messfehler erster Ordnung, der durch die synchrone Messung des Nick- und Gierwinkels kompensiert werden kann. Das Dreistrahl-Interferometer liefert die notwendigen Informationen, die Berechnung erfolgt in der Mess-Software. 

Eine weitere typische Messaufgabe ist die synchrone Messung von drei Längen bzw. Positionen im Raum (X;Y;Z). Das SP 5000 TR kann auch als reines Winkelmesssystem eingesetzt werden. Durch die Paarung mit Kugelreflektoren kann ein sehr großer Messbereich von ±12,5° bei einer sehr hohen Winkelauflösung von 0,002“ erreicht werden.

Auch im klassischen Bereich der Kalibrierung von Führungen und Maschinenachsen kann das SP 5000 TR ein­gesetzt werden. Die Programme InfasMTCAL und InfasAXIS unterstützen das System. Über Position, Nicken und Gieren hinaus kann hier zusätzlich die vertikale und horizontale Geradheit berechnet werden. Grundlage hierfür ist das Verfahren, wie es in ISO230-1 für Neigungsmessgeräte beschrieben ist.

SIOS bietet seinen Kunden mit dem SP 5000 TR ein komfortables Dreistrahl-Interferometer für einen sehr breiten Einsatzbereich bei höchster Auflösung und Genauigkeit.

Über die SIOS Meßtechnik GmbH

Die SIOS Meßtechnik GmbH wurde 1991 gegründet und stellt laserinterferometrische Präzisionsmesssysteme für die Nanometrologie her. Die Messung von Längen, Winkeln, Schwingungen und weiteren Größen erfolgt mit höchster Auflösung und Präzision in Verbindung mit vorteilhaften Anwendereigenschaften. Die flexible Struktur der Firma ermöglicht es, die zu fertigenden Geräte individuell auf spezielle Kundenwünsche und Einsatzbedingungen anzupassen.

Firmenkontakt und Herausgeber der Meldung:

SIOS Meßtechnik GmbH
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Telefon: +49 (3677) 64470
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