Mahyar Emami hat die komplexen Wechselwirkungen von Suppressoren, Acceleratoren und Levellern bei der galvanischen Kupferabscheidung in Mikro-Vias mit typischen Strukturgrößen von einigen zehn Mikrometern systematisch untersucht. Die Arbeit wurde in enger Kooperation mit der Firma Umicore Galvanotechnik GmbH durchgeführt.
Seine Arbeit leistet exzellente Beiträge zum besseren Verständnis der Prozess-Eigenschafts-Beziehungen von galvanischen Verkupferungsprozessen in der Mikroelektronik.
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