GAS’BOT NANO: SEMPA SYSTEMS präsentiert ultrakompaktes Gasversorgungssystem für die Halbleiterindustrie

Maximale Performance auf minimaler Stellfläche

Der GAS’BOT NANO ist ein platzsparendes, PLC-automatisiertes System zur Versorgung mit Bulk- und Spezialgasen und lässt sich dank seiner state of the art Abmessungen nahtlos in bestehende Sub-Fab-Umgebungen integrieren. Mit einer deutlich reduzierten Breite bietet das System eine höhere Gaslieferkapazität pro Quadratmeter Stellfläche als konventionelle Lösungen. Damit eignet sich der GAS’BOT NANO ideal sowohl für Greenfield-Projekte als auch für Retrofit-Installationen in bestehenden Fabriken mit begrenztem Platzangebot.

Ob Neubau oder Modernisierung: Der GAS’BOT NANO entspricht branchenüblichen Abmessungen, einschließlich der etablierten Leitungsführungen der Gasanschlüsse. Bestehende Systeme können dadurch schnell und ohne aufwendige infrastrukturelle Anpassungen ersetzt werden – ein entscheidender Vorteil für eng getaktete Produktionsumgebungen.

Intelligente Automation für höchste Verfügbarkeit und Sicherheit

Technologisch basiert das System auf einer modernen Siemens PLC-Plattform. Diese gewährleistet eine langfristige Zuverlässigkeit sowie flexible Anpassungsmöglichkeiten an unterschiedliche Fab-Anforderungen. Unterstützt werden zusätzlich andere gängige industrielle Kommunikationsprotokolle, wodurch eine einfache Integration in vorhandene Monitoring- und Leitsysteme möglich ist. Vordefinierte Routinen und ein übersichtliches HMI ermöglichen eine intuitive Bedienung, effizientes Alarmhandling und maximale Transparenz im Betrieb.

Besonderes Augenmerk wurde auf die Anlagenverfügbarkeit gelegt: Das optimierte Innenlayout verbessert die Zugänglichkeit aller relevanten Komponenten. Service- und Wartungsarbeiten können dadurch schneller durchgeführt werden, was Stillstandszeiten reduziert und die Gesamtanlageneffizienz steigert. Gleichzeitig bietet der GAS’BOT NANO eine Vielzahl von optionalen Ausstattungsmerkmalen, die es ermöglichen, das System exakt an die spezifischen technischen und budgetären Anforderungen anzupassen, unter anderem Gas-, Rauch- sowie UV-IR-Sensorik, Überdruckschutz und SEMI-S2-Konformität.

„Mit dem GAS’BOT NANO setzen wir neue Maßstäbe für kompakte Gasversorgungssysteme in der Halbleiterfertigung. Unsere Kunden stehen unter enormem Effizienzdruck – sowohl hinsichtlich Flächennutzung als auch Verfügbarkeit und Sicherheit. Der GAS’BOT NANO vereint genau diese Anforderungen in einer zukunftsorientierten Lösung und stärkt unsere Position als Innovationspartner für moderne Fab-Infrastrukturen“, erklärt Dr. Jörg Koch, Geschäftsführer der SEMPA SYSTEMS GmbH. „Gleichzeitig haben wir als Unternehmen im vergangenen Jahr unsere Produktionsfläche und unsere Fertigungskapazitäten verdoppelt. Damit sind wir bestens aufgestellt, um auch große internationale Fab-Projekte zuverlässig und in den erforderlichen Stückzahlen zu bedienen“, ergänzt Koch seine Ausführungen.

Antwort auf wachsende Investitionen in europäische Fab-Kapazitäten

Die Einführung des GAS’BOT NANO erfolgt in einem Marktumfeld, das durch steigende Investitionen in europäische Halbleiterkapazitäten geprägt ist. Neue Produktionsstandorte sowie die Modernisierung bestehender Fabs erfordern flexible, skalierbare und hochsichere Versorgungslösungen. Mit der GAS’BOT Familie – bestehend aus den Varianten NANO, SMART, PRO und EXPERT – bietet SEMPA SYSTEMS ein modulares Portfolio für unterschiedliche Prozessanforderungen und Budgetrahmen.